记者2月26日从中国科学技能大学得悉,该校微电子学院左成杰教授研讨团队在世界上初次提出并完成了一种新式的耦合剪切模态声表面波谐振器,运用两个不同方向的剪切压电系数彼此耦合,在5GHz高频完成了高达34%的机电耦合系数,以及高达650的品质因数(Q值)。相关效果论文日前宣布在电子器材范畴期刊《IEEE电子器材通讯》上。

  自1965年叉指换能器和声表面波技能被创造以来,声表面波谐振器就被大范围的应用于2GHz以下的中、低频无线通讯,并形成了每年超越百亿美元的滤波器和传感器工业。跟着无线MHz以上,这就使得传统的声表面波技能在高频(大于3GHz)、高Q值、高机电耦合系数等三个方面遇到了史无前例的开展瓶颈,其主要的约束在于传统声表面波技能一向运用单一的压电系数来完成电能与机械能的彼此转化。

  研讨人员在一种特定衬底上规划并制备了一种高频、高机电耦合系数、高Q值的耦合剪切模态声表面波谐振器。经过挑选正真合适的欧拉角和规划铌酸锂薄膜厚度与叉指电极波长的比值,使得水平缓厚度方向的电场一起鼓励两个剪切压电系数,并使它们一起作用到一个机械振荡模态中,以此来完成了机电耦合系数的大幅提高。

  此次研讨之后发现了在同一个振荡模态中能够耦合两个或多个不同剪切压电系数的可能性,并经过理论剖析拟定了完成这种耦合剪切模态的规划原则,为声学器材范畴拓荒了一条全新的研讨途径。

  研讨人员表明,这项效果或将助推大带宽滤波器、宽带可调振荡器、高灵敏度传感器等许多范畴立异,并对相关工业带来深远影响。

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【48812】我国在高频声表面波器材范畴获得重要打破

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